曲率可变反射镜具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材,反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,弹簧材料铜合金使用磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(锡)、Si(硅)、Mg(镁)、Zn(锌)、Mn(锰)、Pb(铅)、Fe(铁)以及Al(铝)中的至少1种而成的合金中的任意一种而构成。
1.一种曲率可变反射镜,其特征在于,具有反射镜母材,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,并且,该反射镜母材通过进行退火,从而软化至洛氏硬度小于或等于HRB80而形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Si、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种。
2.一种曲率可变反射镜,其特征在于,具有反射镜母材,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,并且,该反射镜母材通过进行退火,从而软化至洛氏硬度小于或等于HRB80而形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种。
3.根据权利要求1或2所述的曲率可变反射镜,其特征在于,在所述反射镜母材的反射镜反射面侧,形成有电介质多层膜。
4.一种曲率可变单元,其特征在于,具有:曲率可变反射镜,该曲率可变反射镜具有反射镜母材,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射;以及流体喷射机构,其从与所述反射镜反射面侧相反一侧的表面即反射镜背面侧向所述反射镜母材喷射流体,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,并且,该反射镜母材通过进行退火,从而软化至洛氏硬度小于或等于HRB80而形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Si、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种。
5.一种曲率可变单元,其特征在于,具有:曲率可变反射镜,该曲率可变反射镜具有反射镜母材,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射;以及流体喷射机构,其从与所述反射镜反射面侧相反一侧的表面即反射镜背面侧向所述反射镜母材喷射流体,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,并且,该反射镜母材通过进行退火,从而软化至洛氏硬度小于或等于HRB80而形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种。
6.根据权利要求4或5所述的曲率可变单元,其特征在于,所述流体喷射机构向所述反射镜背面的外周部喷射所述流体。
7.一种曲率可变单元,其特征在于,具有:曲率可变反射镜,该曲率可变反射镜具有反射镜母材,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射;以及流体喷射机构,其从与所述反射镜反射面侧相反一侧的表面即反射镜背面侧向所述反射镜母材喷射流体,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Si、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种,所述流体喷射机构从倾斜方向向所述反射镜背面的外周部侧喷射所述流体,以使得所述流体在从所述反射镜背面的内周部侧朝向外周部侧的方向上流动。
8.一种曲率可变反射镜的制造方法,其特征在于,包含对反射镜母材的材料进行退火的退火步骤,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且使用弹簧材料铜合金而形成,在反射镜反射面侧对激光进行反射,该弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Si、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,当进行所述退火时,以将所述反射镜母材软化至洛氏硬度小于或等于HRB80的方式进行退火。
9.一种曲率可变反射镜的制造方法,其特征在于,包含对反射镜母材的材料进行退火的退火步骤,该反射镜母材以曲率可变的方式构成,并且使用弹簧材料铜合金而形成,在反射镜反射面侧对激光进行反射,该弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Zn、Mn、Pb、Fe以及Al中的至少1种而成的合金中的任意一种,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,当进行所述退火时,以将所述反射镜母材软化至洛氏硬度小于或等于HRB80的方式进行退火。技术领域
本发明涉及一种对激光进行反射的曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法。
背景技术
激光加工机是将从激光振荡器射出的激光在曲率可变反射镜、激光反射用反射镜等上反射,而向被加工物照射的装置。目前,对于构成曲率可变反射镜等的反射镜母材,由于热传导性良好而使用无氧铜。这种反射镜母材如果产生变形,则无法得到所希望的光束直径,因此,需要防止变形的产生的反射镜母材。例如,在专利文献1中记载的形状可变反射镜,将形状可变反射镜和支撑体连结的支撑弹簧的材料使用磷青铜等金属材料,由此,防止弹性部件的异常变形的产生。专利文献1:日本特开2003-262803号公报
发明内容
但是,上述现有的技术,只是支撑弹簧的材料使用磷青铜,因此,曲率可变反射镜的针对反射镜塑性变形的寿命较短。因此,如果通过反复的屈曲而向曲率可变反射镜作用反复的应力,则存在会在曲率可变反射镜的反射镜母材上产生永久变形而在短期内必须更换反射镜母材的问题。本发明就是鉴于上述情况而提出的,其目的在于得到一种针对反射镜塑性变形具有高寿命的曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法。为了解决上述的课题,并实现目的,本发明的特征在于,具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材,所述反射镜母材使用弹簧材料铜合金形成,所述弹簧材料铜合金是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni、Sn、Si、Mg、Zn、Mn、Pb、Fe、Al中的至少1种而成的合金中的任意一种。发明的效果本发明所涉及的曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法具有下述效果,即,针对反射镜的塑性变形具有高寿命。
附图说明
图1是表示实施方式1所涉及的激光加工机的大致结构的图。图2是表示实施方式1所涉及的具有曲率可变反射镜的曲率可变单元的图。图3是表示实施方式1所涉及的曲率可变反射镜的结构的图。图4-1是用于说明曲率可变反射镜的曲率变化和焦点位置的变化的关系的图(1)。图4-2是用于说明曲率可变反射镜的曲率变化和焦点位置的变化的关系的图(2)。图5是表示曲率可变反射镜的其它结构例的图。图6是表示实施方式2所涉及的具有曲率可变反射镜的曲率可变单元的图。
具体实施方式
下面,基于附图,对本发明的实施方式所涉及的曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法进行详细说明。此外,本发明不限定于这些实施方式。实施方式1图1是表示实施方式1所涉及的激光加工机的大致结构的图。激光加工机100包含激光振荡器(激光输出部)31、PR(PartialReflection)反射镜32、转向反射镜2A、2B、曲率可变反射镜2X、加工透镜37而构成。此外,在图1中,省略了后述的曲率可变单元10的结构。激光振荡器31是使CO₂激光等激光(光束)振荡的装置,当进行激光加工时,一边使激光输出进行各种变化一边将激光射出。PR反射镜(部分反射镜)32使激光振荡器31射出的激光发生部分反射,而向转向反射镜2A引导。转向反射镜(光束角度变化用反射镜)2A、2B是光束角度变化用的反射镜。转向反射镜2A使从PR反射镜32发送来的激光的光束角度改变而向转向反射镜2B引导。转向反射镜2B使从转向反射镜2A发送来的激光的光束角度偏转,而向曲率可变反射镜2X发送。曲率可变反射镜2X是构成为使反射镜的曲率可变,并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜。曲率可变反射镜2X使从转向反射镜2B发送来的激光的光束角度、光束直径等改变,而向加工透镜37发送。曲率可变反射镜2X通过使反射镜的曲率变化,而使光束直径、焦点深度等发生变化。本实施方式的曲率可变反射镜2X,其反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成。加工透镜37将从曲率可变反射镜2X发送来的激光聚光为较小的光斑直径,而向被加工物30照射。被加工物30载置在未图示的加工台上,在该加工台上进行激光加工。此外,激光加工机100可以是对板金等板状部件进行切断的激光加工机,也可以是在印刷基板等上进行开孔加工的激光加工机。另外,激光加工机100可以进行2维的激光加工,也可以进行3维的激光加工。图2是表示实施方式1所涉及的具有曲率可变反射镜的曲率可变单元的图。在图2中,表示了曲率可变单元10的剖面图。曲率可变单元10是使曲率可变反射镜2X的曲率变化的单元,该曲率可变反射镜2X使用大致圆板状的部件而形成。曲率可变单元10具有传感器3、内侧反射镜支撑体4、外侧反射镜支撑体5、致动器6、流体流入口7、流体送出口8、上游侧流体配管15、下游侧流体配管9A。内侧反射镜支撑体4、外侧反射镜支撑体5分别使用有底圆筒状部件而构成。其中,流体流入口7、流体送出口8、上游侧流体配管15、下游侧流体配管9A作为向曲率可变反射镜2X喷射流体的流体喷射机构起作用。内侧反射镜支撑体4具有支撑部21,该支撑部21位于构成有底圆筒状部件的侧壁面的上表面部侧。支撑部21在曲率可变反射镜2X的底面部中的外周部处与曲率可变反射镜2X接触。另外,外侧反射镜支撑体5的内壁面构成为比内侧反射镜支撑体4的外壁面大。外侧反射镜支撑体5以将内侧反射镜支撑体4包围的方式配置在内侧反射镜支撑体4的外侧。外侧反射镜支撑体5具有板状的环状部件,该环状部件以与侧壁面垂直的方式,与有底圆筒状部件的上表面部侧接合。而且,在环状部件的底面侧设置有按压部22。按压部22在曲率可变反射镜2X的上表面部中的外周部处与曲率可变反射镜2X接触。支撑部21、按压部22构成为,使支撑部21在与按压部22相比的曲率可变反射镜2X的外周侧与曲率可变反射镜2X接触。通过这种结构,曲率可变反射镜2X被内侧反射镜支撑体4和外侧反射镜支撑体5夹持。具体地说,曲率可变反射镜2X的底面侧的外周部与内侧反射镜支撑体4的支撑部21抵接,上表面侧的外周部与外侧反射镜支撑体5的按压部22抵接。致动器6使内侧反射镜支撑体4在与曲率可变反射镜2X的主表面的垂直的方向上移动。当使曲率可变反射镜2X的曲率变化时,致动器6使内侧反射镜支撑体4向曲率可变反射镜2X侧移动。由此,曲率可变反射镜2X的底面被支撑部21推起,并且曲率可变反射镜2X的上表面被按压部22压住。其结果,曲率可变反射镜2X变形为凹状(碗状),曲率发生变化。此外,在曲率可变单元10中,也可以使曲率可变反射镜2X变形为凸状。传感器3配置在曲率可变反射镜2X的底面部侧,检测曲率可变反射镜2X的曲率。在曲率可变单元10中,在底面部侧设置有流体流入口7。流体流入口7使向曲率可变反射镜2X的底面部侧喷射的冷却用空气等气体向曲率可变单元10内流入。上游侧流体配管15是使从流体流入口7流入的气体向下游侧流体配管9A侧流动的例如1根配管。在曲率可变单元10中,配置1根至多根下游侧流体配管9A,各下游侧流体配管9A与上游侧流体配管15连接。下游侧流体配管9A是将从上游侧流体配管15吹送来的气体向流体送出口8侧吹送的配管。上游侧流体配管15以及下游侧流体配管9A贯穿内侧反射镜支撑体4的底面以及外侧反射镜支撑体5的底面,并延伸至曲率可变反射镜2X的底侧。上游侧流体配管15以及下游侧流体配管9A在相对于曲率可变反射镜2X的主表面大致垂直的方向上延伸设置。此外,上游侧流体配管15以及下游侧流体配管9A的形状、路径、配置位置可以是任何形状、任何路径、任何配置位置。流体送出口8将从下游侧流体配管9A吹送来的气体向曲率可变反射镜2X的底面喷出。本实施方式的下游侧流体配管9A、流体送出口8配置在能够向曲率可变反射镜2X的外周部附近喷出气体的位置处(曲率可变反射镜2X的外周部附近)。换言之,下游侧流体配管9A、流体送出口8配置为,不将气体向曲率可变反射镜2X的中心部区域吹送,而是将气体向曲率可变反射镜2X的外周部区域吹送。从流体流入口7流入的气体,从流体流入口7向上游侧流体配管15吹送,经由上游侧流体配管15以及下游侧流体配管9A,从流体送出口8送出。由此,从流体送出口8送出的气体向曲率可变反射镜2X的底面部侧中的外周部附近喷射。向曲率可变反射镜2X的底面部喷射的气体从设置在曲率可变单元10的侧面部侧的排出口12排出。此外,排出口12也可以设置在曲率可变单元10的底面部侧。图3是表示实施方式1所涉及的曲率可变反射镜的结构的图。在图3中,表示了曲率可变反射镜2X的斜视图。曲率可变反射镜2X使用大致圆板状的反射镜母材而构成,在反射镜反射面侧形成有圆形区域的反射膜1。反射膜1的中心与反射镜母材的反射镜反射面的中心大致相同。形成反射膜1的区域可以是比反射镜反射面小的区域,也可以是与反射镜反射面相同的区域。在本实施方式中,作为曲率可变反射镜2X(反射镜母材),通过使用具有0.2%屈服强度,并且应力松弛特性优异的弹簧材料铜合金,实现针对反射镜塑性变形的高寿命化。弹簧材料铜合金例如是磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(锡)、Si(硅)、Mg(镁)、Zn(锌)、Mn(锰)、Pb(铅)、Fe(铁)、Al(铝)等中的1种~多种而成的合金中的任意一种。如上所述,在本实施方式中,对于曲率可变反射镜2X的反射镜母材使用磷青铜等弹簧材料铜合金,因此,可以得到针对由重复应力导致的塑性变形的良好耐久性。通常,大输出激光用反射镜母材优选以抑制温度上升的方式构成。因此,在本实施方式中,对反射膜1使用电介质多层膜。曲率可变反射镜2X通过利用电介质多层膜对激光进行增反射,从而抑制由于激光的输入热量导致的温度上升。由此,即使在铜合金的热传导率较低的情况下,也能够抑制曲率可变反射镜2X的温度上升。另外,在本实施方式中,为了能够有效地降低反射镜温度,从反射镜反射面的背面侧(曲率可变反射镜2X的底面侧)喷出气体,因此,能够抑制曲率可变反射镜2X的温度上升。此外,为了抑制曲率可变反射镜2X的温度上升,可以实施设置反射膜1和从反射镜反射面的背面侧喷出气体这两个方案,也可以实施其中的任意一个。例如,在朝向曲率可变反射镜2X的中心部喷射气体的情况下,能够得到较大的冷却效果,但曲率可变反射镜2X的温度分布不均匀。具体地说,作为反射镜温度的分布,以曲率可变反射镜2X的中心部是中温、在中心部与外周部之间是高温、外周部是低温的方式,形成不均匀的温度分布。因此,曲率可变反射镜2X的反射镜曲面从所希望的曲面偏离,对激光的特性造成影响。另一方面,在本实施方式中,从反射镜反射面的背面侧向背面侧的外周部附近喷射气体,因此,能够在保持由于激光的照射而产生的曲率可变反射镜2X的温度分布的状态下,降低曲率可变反射镜2X的反射镜温度。具体地说,作为反射镜温度的分布,以曲率可变反射镜2X的中心部是高温、在中心部与外周部之间是中温、外周部是低温的方式,形成均匀的温度分布。此外,在向曲率可变反射镜2X射入的激光的输出较低的情况下,可以省略反射膜1的形成,而仅对反射镜反射面蒸镀金。在这种情况下,对于反射镜反射面,在反射膜1的位置处形成有金的薄膜。另外,曲率可变反射镜2X可以通过使曲率变化,而使向被加工物30照射的激光的焦点位置变化。在这里,说明曲率可变反射镜2X的曲率变化和焦点位置的变化的关系。图4-1以及图4-2是用于说明曲率可变反射镜的曲率变化和焦点位置的变化的关系的图。图4-1表示曲率可变反射镜2X是凸面的情况,图4-2表示曲率可变反射镜2X是凹面的情况。如图4-1所示,经由凸面的曲率可变反射镜2X而向被加工物30照射的激光,与平行光的激光向被加工物30照射的情况相比,焦点距离变长。另外,如果激光在凸面的曲率可变反射镜2X上反射,则与反射之前相比,反射之后的激光的光束直径变大。另一方面,如图4-2所示,经由凹面的曲率可变反射镜2X而向被加工物30照射的激光,与平行光的激光向被加工物30照射的情况相比,焦点距离变短。另外,如果激光在凹面的曲率可变反射镜2X上反射,则与反射之前相比,反射之后的激光的光束直径变小。如上所述,能够通过使曲率可变反射镜2X的曲率变化,从而与使加工透镜37的位置变化的情况相同地,使向被加工物30照射的激光的焦点位置变化。另外,能够通过使曲率可变反射镜2X的曲率变化,从而与反射之前相比,使反射之后的激光的光束直径变化。曲率可变反射镜等通常的光学部件,为了使光的特性不变化,对反射镜反射面要求较高的表面精度。另外,为了通过低载荷使曲率可变反射镜弯曲而得到所希望的曲率,使曲率可变反射镜的厚度较薄的方式是有利的。在将磷青铜等弹簧材料铜合金应用于曲率可变反射镜的情况下,有时由于材料制造时产生的残留应力和反射镜厚度较薄,难于得到所希望的表面精度。在这种情况下,成品率和生产率显著恶化。因此,在本实施方式中,当制造曲率可变反射镜2X时,通过对反射镜材料进行退火处理,而进行残留应力的释放。作为用于确保成品率和生产率的残留应力释放程度的判断基准,能够通过硬度判断。在本实施方式中,通过对反射镜母材料进行退火处理,从而使反射镜材料软化至洛氏硬度(B尺度)小于或等于HRB80。而且,将软化至小于或等于HRB80的反射镜材料作为反射镜母材的材料而使用。由此,反射镜材料的切削变容易,因此,能够容易地制造曲率可变反射镜2X。如上所述,在本实施方式中,使用磷青铜等弹簧材料铜合金构成曲率可变反射镜2X。而且,考虑到反射镜材料的热传导率,优选通过在反射镜反射面上施加电介质多层膜(反射膜1)而进行激光的增反射。另外,根据反射镜材料的热传导率,优选通过向反射镜反射面的背面侧喷射流体而抑制反射镜温度上升。如上所述,由于曲率可变反射镜2X的反射镜母材使用了具有0.2%屈服强度、应力松弛特性优异的弹簧材料铜合金,所以,即使因反复弯曲而向曲率可变反射镜2X作用重复应力,也不容易在曲率可变反射镜2X上产生永久变形。另外,在反射镜反射面上形成有电介质多层膜,该电介质多层膜对于激光具有比金更高的反射率,因此,能够有效地抑制曲率可变反射镜2X的温度上升。另外,由于使用支撑部21和按压部22而使曲率可变反射镜2X的曲率变化,所以,即使在反射镜厚度较厚的情况下,也能够使曲率可变反射镜2X的曲率变化为所希望的值。因此,作为曲率可变反射镜2X,即使射入高输出激光,也能够抑制热变形。此外,曲率可变反射镜2X不限定于大致圆板状,可以是任何形状。例如,可以由具有多边形主表面的板状部件、椭圆板状部件形成曲率可变反射镜2X。另外,可以在曲率可变反射镜2X的底面侧或者反射镜内设置中空区域。图5是表示曲率可变反射镜的其它结构例的图。曲率可变反射镜2Y具有在反射镜母材的底面侧或者反射镜内设置的中空区域的结构。曲率可变单元10能够通过向曲率可变反射镜2Y的中空区域喷出·流入气体、液体等流体,从而抑制曲率可变反射镜2Y的温度上升。另外,曲率可变反射镜2Y构成为,能够通过向中空区域流入流体而使反射镜曲率变化。曲率可变反射镜2Y利用向中空区域流入的流体的流体压力的变化,使反射镜反射面变形为凸面或者凹面而使曲率发生变化。此外,用于使曲率可变反射镜2X的反射镜曲率可变的曲率可变单元10的结构不限定于通过图2等所说明的结构。例如,内侧反射镜支撑体4、外侧反射镜支撑体5、支撑部21、按压部22的结构、驱动方式的形式可以是任何结构、驱动方式。另外,曲率可变反射镜2X的反射镜表面的曲率形状可以是球面、非球面中的任意一个。另外,曲率可变反射镜2X的应用范围不限定于激光加工机,可以应用于任何装置。另外,也可以对转向反射镜2A、2B应用曲率可变反射镜2X。另外,也可以不向曲率可变反射镜2X形成电介质多层膜。另外,可以省略向曲率可变反射镜2X的气体喷射的冷却。另外,对于气体的喷射方向、气体向曲率可变反射镜2X喷射的区域,可以是任何方向、任何区域。如上所述,根据实施方式1,由于使曲率可变反射镜2X的反射镜母材为磷青铜等弹簧材料铜合金,所以,能够针对曲率可变反射镜2X的塑性变形而实现高寿命化。另外,由于向反射镜反射面的背面侧的外周部附近喷射气体,所以,能够维持反射镜面内的温度分布,并且抑制反射镜温度的上升。另外,由于通过对反射镜材料进行退火处理,从而使反射镜材料软化至小于或等于HRB80,所以,能够容易地制造曲率可变反射镜2X。另外,由于在反射镜反射面上形成电介质多层膜(反射膜1),所以能够进行激光的增反射,其结果,能够抑制反射镜温度的上升。实施方式2下面,使用图6说明本发明的实施方式2。在实施方式2中,将曲率可变单元的下游侧流体配管倾斜地配置,由此,从倾斜方向向曲率可变反射镜2X喷射气体。图6是表示实施方式2所涉及的具有曲率可变反射镜的曲率可变单元的图。在图6中,表示了曲率可变单元11的剖面图。此外,对图6的各结构要素中实现与图2所示的实施方式1的曲率可变单元10相同功能的结构要素标注相同标号,并省略重复说明。曲率可变单元11具有传感器3、内侧反射镜支撑体4、外侧反射镜支撑体5、致动器6、流体流入口7、流体送出口8、上游侧流体配管15、下游侧流体配管9B。换言之,曲率可变单元11与曲率可变单元10相比,取代下游侧流体配管9A而具有下游侧流体配管9B。其中,流体流入口7、流体送出口8、上游侧流体配管15、下游侧流体配管9B作为向曲率可变反射镜2X喷射流体的流体喷射机构而起作用。本实施方式的上游侧流体配管15,使从流体流入口7流入的气体向下游侧流体配管9B流动。在曲率可变单元11中配置有1个至多个下游侧流体配管9B,各下游侧流体配管9B与上游侧流体配管15连接。下游侧流体配管9B、流体送出口8配置在能够向曲率可变反射镜2X的外周部附近喷出气体的位置。另外,本实施方式的下游侧流体配管9B配置为,朝向相对于曲率可变反射镜2X的主表面(与反射镜反射面侧相反一侧的表面即背面)的轴方向发生倾斜的方向。具体地说,下游侧流体配管9B在从内侧反射镜支撑体4的轴中心朝向内侧反射镜支撑体4的外周部方向的方向上延伸设置。换言之,下游侧流体配管9B以使气体在从反射镜背面的内周部侧朝向外周部侧的方向上流动的方式,使配管的轴方向倾斜。由此,下游侧流体配管9B的轴向与曲率可变反射镜2X的主表面的垂直方向成为非平行状态。从流体流入口7流入的气体,从流体流入口7向上游侧流体配管15吹送,经由上游侧流体配管15以及下游侧流体配管9B从流体送出口8送出。由此,从流体送出口8送出的气体在从曲率可变反射镜2X的底面部侧中的内周部侧朝向外周部侧的方向上流动,同时向外周部侧喷射。换言之,作为流体喷射机构,将流体从倾斜方向向反射镜母材的主表面喷射,以使得流体在从反射镜背面的内周部侧朝向外周部侧的方向上流动。如上所述,根据实施方式2,由于将流体从倾斜方向向曲率可变反射镜2X的主表面喷射,以使得流体在从反射镜背面的内周部侧朝向外周部侧的方向上流动,所以,气体不会向曲率可变反射镜2X的中心部喷射。由此,能够在保持由于激光的照射而产生的曲率可变反射镜2X的温度分布的状态下,降低曲率可变反射镜2X的反射镜温度。工业实用性如上所述,本发明所涉及的曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法,适用于激光的照射。标号的说明1反射膜2X、2Y曲率可变反射镜4内侧反射镜支撑体5外侧反射镜支撑体6致动器8流体送出口9A、9B下游侧流体配管10、11曲率可变单元12排出口100激光加工机